A Practical Guide To Surface Metrology

Verlag: 
Springer
Autoren: 
Michael Qinten
Details: 
1st ed. 2019, XXV, 230 p. 156 illus., 100 illus. in color.
Preis: 
85.59€
ISBN: 
978-3-030-29454-0

Michael Quinten

A Practical Guide to Surface Metrology
Reihe: Springer Series in Measurement Science and Technology

Dieses Buch bietet eine praktische Einführung in die meist benutzten optischen und nichtoptischen Systeme an, die in der Metrologie und Charakterisierung von Oberflächen benutzt werden. Dabei werden auch Richtlinien zum besten Gebrauch und zur Kalibrierung der Systeme gegeben sowie Vorteile und Nachteile aufgezeigt und wie die Ergebnisse interpretiert werden können. Das Buch ermöglicht es dem Benutzer, die beste Lösung für seine Aufgabe auszusuchen.

Die meisten Methoden in der Oberflächenmesstechnik basieren auf der Wechselwirkung von Licht oder elektromagnetischer Strahlung (UV, NIR, IR) mit der Oberfläche, wobei verschiedene optische Effekte verwendet werden, um eine bestimmte optische Antwort von der Oberfläche zu bekommen. Einige messen die Intensität, die an der Oberfläche reflektiert oder gestreut wird, andere nutzen Interferenzen elektromagnetischer Wellen, um charak-teristische Antworten zu bekommen.

Das Buch deckt Techniken ab, die von der Mikroskopie (einschließlich konfokale Mikroskopie, SNOM und digitale holografische Mikroskopie) über Interferometrie (einschließlich Weißlichtinterferometrie, Mehrwellenlängeninterferometrie, streifenden Einfall und Phasenshift) bis hin zur spektralen Reflektometrie und Ellipsometrie reichen.

Die nichtoptischen Methoden umfassen taktile Methoden (Tastnadel, AFM) sowie kapazitive und induktive Methoden (kapazitive Distanzmessung, Wirbelstromverfahren).

Das Buch bietet

- eine Übersicht über die Arbeitsweisen der Methoden,

- eine Beschreibung der Vor- und Nachteile der Methoden,

- Aussagen über aktuell erreichbare Auflösungen, Wiederholbarkeiten und Reproduzier-barkeiten und

- Beispiele aus realen Anwendungen.

Ein Kapitel diskutiert wie die Kombination verschiedener Oberflächenmesstechniken in einem Multisensor Messsystem zu einem besseren Verständnis der Oberflächen-eigenschaften und zur schnelleren Charakterisierung in industriellen Anwendungen führen kann.

Das Buch ist geeignet für Wissenschaftler und Ingenieure, die die aufgeführten Methoden für die Messung an und der Charakterisierung von Oberflächen in einem weitem industriellen Umfeld einsetzen, wie in der Elektronik, der Energietechnik, im Automotive Bereich und in der Medizintechnik

Als Hardcover (106,99 €) und als eBook erhältlich!